便攜式臭氧校準源利用低壓汞燈來光解氧氣并產生臭氧。 185 nm 附近的真空紫外線被 O2 吸收以產生氧原子。氧原子附著在 O2 上形成臭氧 O3。眾所周知，地球臭氧保護層的存在機制如下：
O2 + hv → O + O (1)
2 [O + O2 + M → O3 + M] (2)
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Net: 3 O2 + hv → 2 O3 (3)
其中 hv 表示光子，M 是任何分子（例如 N2、O2、Ar）。 O2 吸收一個光子的光導致形成兩個臭氧分子。在流動的空氣流中產生的臭氧濃度取決于光解燈的強度、氧氣的濃度（由壓力和溫度決定）以及在光解池中的停留時間（由體積流量和池體積決定） .通過保持這些參數恒定，可以產生含有恒定濃度臭氧的空氣流，并且通過改變燈的強度可以 很方便地改變所產生的臭氧濃度。圖 1-1 是 Ozone Calibration Source™ 的示意圖。
306 型臭氧校準源™ 示意圖。
